《真空科学与技术学报》（月刊）创刊于1981年，由中国真空学会主办。本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。

《真空科学与技术学报》主要刊登真空技术、表面与界面物理与化学、表面分析、电子材料、薄膜物理与工艺、真空冶金、等离子体科学与工艺等。主要栏目有：学术论文、综述评论、技术交流、工业技术、科研动态与学术活动、快报等。

1、《真空科学与技术学报》文稿要求：内容新颖、论点明确、力求文字精炼、准确、通顺，文题简明扼要，文稿应资料可靠、数据准确、书写规范，文责自负。

2、《真空科学与技术学报》文中使用他人成果，务必标明并在文后参考文献中列出细目。

3、《真空科学与技术学报》论文涉及的课题如取得国家或部、省级以上专项基金或属攻关项目，应注于文章正文下方。

4.文稿务必立论明确,论证严谨,数据可靠,文字精练。特约稿、综述论文一般8000字以内,学术论文6000字以内,技术交流4000字以内,科技简讯2000字以内,来稿请填好中图分类号。

5.文稿要求用A4纸单面1.5倍行间距,小四号字打印,一式两份。来稿时,请附上作者中联系人、联系电话和电子信箱地址。如可能,请附寄磁盘。

6.稿件请按本刊格式整理,除正文以外,要同时给出中、英文的篇名、作者姓名和工作单位、论文摘要300字左右、关键词4～6个。